細(xì)分海德漢封閉式直線光柵尺的信號
更新時(shí)間：2018-11-20 點(diǎn)擊次數(shù)：3656次
細(xì)分
海德漢封閉式直線光柵尺的信號
海德漢封閉式直線光柵尺信號的細(xì)分與辨向是提高海德漢封閉式直線光柵尺測量精度的關(guān)鍵性一步。在筆者所參考的關(guān)于光柵辨向和細(xì)分電路的資料中，很多設(shè)計(jì)者都沒有綜合考慮辨向和細(xì)分的復(fù)雜性，而是把辨向和細(xì)分電路分開，辨向電路只對海德漢封閉式直線光柵尺的輸出信號進(jìn)行辨向，而不是對細(xì)分后的脈沖信號進(jìn)行辨向，這樣實(shí)現(xiàn)測量誤差仍是海德漢封閉式直線光柵尺的柵距。在考慮辨向功能時(shí)，應(yīng)對細(xì)分后的信號進(jìn)行辨向設(shè)計(jì)，否則不能提高測量精度。
海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)是用來度量各軸的坐標(biāo)數(shù)值的，目前三次元測量機(jī)上使用的海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)種類很多，它們與在各種機(jī)床和儀器上使用的海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)大致相同，按其性質(zhì)可以分為機(jī)械式海德漢封閉式直線光柵尺系統(tǒng)（如精密絲杠加微分鼓輪，精密齒條及齒輪，滾動直尺）、光學(xué)式標(biāo)尺系統(tǒng)（如光學(xué)讀數(shù)刻線尺，光學(xué)編碼器，光柵，激光干涉儀）和電氣式標(biāo)尺系統(tǒng)（如感應(yīng)同步器，磁柵）。根據(jù)對國內(nèi)外生產(chǎn)CMM三坐標(biāo)測量儀所使用的標(biāo)尺系統(tǒng)的統(tǒng)計(jì)分析可知，使用zui多的是光柵，其次是感應(yīng)同步器和光學(xué)編碼器。有些高精度CMM三次元測量機(jī)的標(biāo)尺系統(tǒng)采用了激光干涉儀。
海德漢封閉式直線光柵尺是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺位移傳感器經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用。
